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PPM-T322B系列溅射薄膜压力传感器

PPM-T322B系列溅射薄膜压力传感器

  • 分类:行业新闻
  • 作者:csppm
  • 来源:长沙十大网赌网址平台首页
  • 发布时间:2021-02-01 11:20
  • 访问量:

【概要描述】PPM-T322B溅射薄膜压力传感器,采用离子束溅射薄膜技术,一体化结构,高灵敏度压力芯体,适用温度范围宽,长期稳定性好等特点。主要应用于高端工业现场和军事装备。可提供产品定制服务。

PPM-T322B系列溅射薄膜压力传感器

【概要描述】PPM-T322B溅射薄膜压力传感器,采用离子束溅射薄膜技术,一体化结构,高灵敏度压力芯体,适用温度范围宽,长期稳定性好等特点。主要应用于高端工业现场和军事装备。可提供产品定制服务。

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溅射薄膜压力传感器/变送器是贴片式压力传感器的升级产品,是利用薄膜技术在弹性上直接制作应变电路的一体化的敏感元件,一方面采用传统的电测原理,选取了传统的优势技术;另一方面采用现代薄膜工艺技术,克服了以往易出现的部分弊端。所以,由于溅射薄膜压力传感器/变送器的各项性能指标的提高,特别适合要求稳定性好、温度范围广等恶劣条件的环境下应用。

 

溅射薄膜压力传感器/变送器的敏感元件一般有两种形式,1:直接在绝缘基底上。2:在金属弹性体上先制作一层绝缘介质层,再在上面制作金属膜,通过一系列的工艺形成应变图和电极,重点是在制作好后会在敏感元件上加一层保护层。目前常用的是第2种。采用的结构形式是溅射薄膜压力敏感元件的工作原理和传统的应变式压力传感器的原理一样,敏感元件的应变图形由四个应变电阻组成惠斯墩电桥,随着被测压力的变化弹性体产生变形,电桥的四个电阻感知弹性体的应变,产生电阻值变化,通过应变电测测量压力。


溅射薄膜压力传感器的主要制作工艺包括膜片的研磨抛光(其目的是为了让敏感元件的温度性能、绝缘强度、产品成品率较好)、清洗(成膜前需要经过化学试剂超声波清洗和离子轰击清洗两道工艺)、成膜(常用射频溅射、离子東溅射两种。)、制作光化学图形和(其目的是为了对膜片材料、电阻材料基本上不腐蚀,可以很好地控制腐蚀终点)、表面保护(目前大部分薄膜压力敏感元件生产厂家使用的材料为SiO2)等。

 

主要技术指标:
被测介质: 液体、气体及蒸汽
压力类型 :密封参考压力、通气表表力
量       程 : 0~6bar、16bar、20bar、50bar、160bar、250bar、400bar、600bar、800bar、1000bar、1600bar 、2000bar、2500barr、3000bar
供电电源: 9V~36VDC
输出信号 : 4~20mA、0~10VDC、0~5VDC、0.5~4.5VDC可选择
安装螺纹: M20 × 1.5、G1/2、1/2NPT、1/4NPT、G1/4  其它定制
电气接口:M20 × 1.5 出线
非线性:≤0.05%FS
重复性:0.1%FS
长期稳定性:0.15%FS/年
工作介质温度; -45℃~+155℃
工作环境温度:-43℃~+135℃


应用:石油化工、水利冶金、电力、轻工纺织、建材、水文地质、食品、医药、环保环境控制等行业工业现场监测与控制中气体、液体及蒸汽的压力测量

 

PPM-T322B溅射薄膜压力传感器/变送器,采用离子束溅射薄膜技术,一体化结构,高灵敏度压力芯体,适用温度范围宽,长期稳定性好等特点。主要应用于高端工业现场和军事装备。可提供产品定制服务。

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